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Emissionsarme Sonder-Reinraumrolle made by Blickle

Gefederte Schwerlast-Doppel-Lenkrolle LSDFE-POTH 200XK-ELS-FS-899642

Der KundeLSDFE-POTH_Kunde

… ist tätig in der Halbleitertechnik und entwickelt und produziert dabei Ausrüstungen für die Fertigung von Mikrochips. Das Unternehmen ist international aufgestellt und erwirtschaftete im Geschäftsjahr 2015/2016 einen Umsatz von 972 Millionen Euro. International werden insgesamt etwa 2.800 Mitarbeiter beschäftigt, von denen rund 30 Prozent im Bereich Forschung und Entwicklung arbeiten.

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LSDFE-POTH_Anwendung

Die Anwendung

Für die Herstellung von Objektiven für die Lithographie von Halbleitern benötigt der Kunde Transportwagen für hohe Lasten. Die Fertigung der Objektive erfolgt in einer Reinraumumgebung, also in einem Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen (Partikel) sehr gering gehalten wird. Das hat zur Folge, dass alle verwendeten Geräte und Materialien besondere Kriterien erfüllen müssen: spezielle Oberflächen, antistatisch, abriebarm, wartungsarm, leicht zu reinigen.

Um die Luft sukzessive von Partikeln zu reinigen, gibt es bis zum Eingang des Reinraums Schleusen, bis hin zum sogenannten „Reinstraum“, in dem das geringste Luftpartikelvorkommen herrscht. Die speziellen Reinraumrollen für die Transportwagen dürfen auch nur in einer solchen Schleuse zum Reinraum montiert werden.

Während des Fertigungsprozesses wird der Objektivwagen entlang von Führungsrollen eng geführt und muss durch eine U-förmige Gasse fahren. Daher ist der Platz eingeschränkt und eine sehr gute Manövrierbarkeit wird gefordert. Weitere Anforderungen des Objektivherstellers sind eine geringe Bauhöhe, eine hohe Tragfähigkeit sowie ein Fußschutz.

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Unsere Lösung

Um alle Anforderungen bezüglich der Tragfähigkeit, Manövrierbarkeit und Hygiene zu erfüllen, bildet die gefederte Blickle Schwerlast- Doppelrolle der Serie LSDFE-POTH die Basis für die Sonderrolle.

Aufgrund der Reinraumanforderungen müssen sämtliche Bauteile so behandelt sein, dass sie möglichst wenig Partikel in die Umgebungsluft abgeben. So bestehen beispielsweise sämtliche Schrauben aus Edelstahl. Auch das Gehäuse ist komplett vernickelt, damit eine glatte Oberfläche entsteht. Dies bietet einen verbesserten Korrosionsschutz, und außerdem sind Schmutzpartikel leichter zu erkennen. Sowohl der Gehäuse-Drehkranz als auch die rostfreien Kugellager der POTH-Räder mit thermoplastischem Polyurethan-Laufbelag und hochwertigem Polyamid-Radkörper werden mit speziellem Fett geschmiert. Auch die Polyurethan-Feder erfährt eine spezielle Behandlung, damit keine Ausgasung stattfindet.

Sowohl die Rollenmontage als auch der Verpackungsvorgang erfolgt unter speziellen Bedingungen in einem besonders sauberen Umfeld.

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Das Ergebnis

Emissionsmessungen bestätigen, dass die Blickle Sonderrolle alle Reinraum-Kriterien erfüllt. Im Einsatz zeigt sich, dass die Wagen mit den Spezialrollen leicht von nur einer Person – und durch den Fußschutz unbedenklich – rangiert werden können. Daraus ergibt sich ein sehr hoher Grad an Ergonomie und Sicherheit, wodurch der Kunde letztendlich Kosten einsparen kann.

 

Technische Informationen und Produktvorteile LSDFE-POTH 200XK-ELS-FS-899642
• hohe Tragfähigkeit von 900 kg (Nennwert) pro Rolle
• kompakte Bauweise für optimale Manövrierbarkeit in engen Gassen
• Optimale Sicherheit durch integrierten Fußschutz
• Alle Bauteile erfüllen die geforderten Partikel-Emissionsanforderungen